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| 品牌：荏源 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 型号：ESA25-D | 电源电压：200V~380V |
| 用途：抽真空 |
ESA型
可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵
满足大型真空腔室高速排气要求
满足有机溶剂要求的选配件
氢气等轻质气体排气
性材料选配件
无油
可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求
产品介绍
ESA型产品阵容包括1400L/min～10,000L/min排气量的机型，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气。适合轻质气体排气的10,000L/min以下机型采用紧凑化设计，可以选择性材料选配件，是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件，是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空锁等的选择。
