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品牌:荏源 | 是否进口:否 | 产地:日本 |
加工定制:否 | 型号:ESA15-D | 电源电压:200V~380V |
用途:抽真空 |
产品介绍
ESA型产品阵容包括1400L/min~10,000L/min排气量的机型,适合氢气等轻质气体排气,以及20,000L/min~80,000L/min排气量的机型,适合大型腔室高速排气。适合轻质气体排气的10,000L/min以下机型采用紧凑化设计,可以选择性材料选配件,是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点,还可选择有机溶剂排气用选配件,是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空锁等的选择。
干式真空泵在使用过程中常见故障:
1、泵卡死不能运转
2、真空度降低
3、起动困难
4、真空度抽不上去或抽上去稳不住
5、噪音大
69、电机发热
干式真空泵行业应用:
1. 分析仪器; 2. 电子显微镜; 3. 表面分析仪; 4. 检漏仪; 5. 质谱仪; 6. 光谱仪; 7. R&D; 8. 离子加速器; 9. 分子泵组; 10. 实验室; 11. 工业; 12. 灯泡生产; 13. 真空镀膜; 14. 深冷泵再生; 15. 电离清洁; 16. 干燥; 17. 上料预抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊应用; 19. 已有的特殊版本; 20. He闭环回圈; 84. 真空系统分子泵背泵
为了满足全国各地区真空客户维修难、维修费用高等问题,苏州高真空维修中心成立维修保养服务工厂,拥有的技术工程师,维修工程师都得到原厂的正规培训,完全有实力提供干泵的维修、保养服务。