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上海阿尔卡特Adixen Alcatel A 604 H 阿尔卡特真空泵维修 宁波真空泵保养
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品牌:阿尔卡特是否进口:否产地:德国
加工定制:否型号:AlcatelA604H电源电压:380V
用途:真空泵维修尺寸:334*224*667cm

Adixen Alcatel A 604 H

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阿尔卡特真空泵维修

Pfeiffer Adixen A 604 H A4 Series Semiconductor Dry Vacuum Pump - REBUILT

Pfeiffer Vacuum introduces the new A4 series. Harsh duty processes in semiconductor production always provide new challenges for vacuum pumps. Based on the proven and energy efficient multi-stage Roots technology, the A4 series offers a wide range of dry pump solutions, with different pumping speeds from 100 to 2,300 m3/h. Compared to previous process pumps, the corrosion and by-product condensation resistance have been increased significantly to address the latest requirements of 20 nm technology nodes and below. With an extended process lifetime - associated with a low power consumption - the A4 series pumps are counted among those with the lowest cost of ownership in the market.


Max. peak pumping speed - N2560 m3/h
Max. ultimate pressure (no purge)2 x 10-3?hPa
Max. ultimate pressure (50 slm purge)6 x 10-3?hPa
Max. continuous inlet flow at full rotational speed60 slm
Power supply200–230 V / 380–480 V, 3-phase ± 10%, 50/60 Hz
Power consumption at ultimate pressure - no exhaust heater? ??2.0 kW
Max. exhaust overpressure1,200 hPa
Cooling water flow2.5 – 4 l/mn
Cooling water temperature - subject to pump T° setting10 to 35°C
Water connect3/8 NPT
N2?purge flow10 to 120 slm
Operating temperature5 to 40°C
Inlet flangeDN 100 ***-K
Exhaust flangeDN 40 ***-KF
Dimensions962 x 388 x 775 mm
Weight370 kg
Max. vibration level at pump inlet flange<0.1 g / 1.5 mm/s
Max. noise level at ultimate pressure<68 db(a)

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