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品牌:kashiyama | 是否进口:否 | 产地:日本 |
加工定制:否 | 型号:MU180P/H | 电源电压:200V~380V |
用途:抽真空 |
日本KASHIYAMA干式真空泵维修MU180P/H
简单介绍
KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。日本KASHIYAMA干式真空泵MU180X
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到***应用。
?日本KASHIYAMA干式真空泵MU180P/H
SDE-X系列
功耗1.3千瓦* 1
[与之前的产品相比减少了54%]
具有多种设置兼容各种工艺
?
***的真空技术。?一个多样化的产品组,具有的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的***信赖,包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是,一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准,是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品,并且得到了客户的高度赞誉,它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能.日本KASHIYAMA干式真空泵MU180X
不仅是干泵,还有机械增压泵,真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高***性
主要产品
规格 / 产品 | MU100P/H | MU180P/H | MU300P/H | MU600P/H | MU1218P/H | MU20N18P/H | MU30N18P/H |
抽气速度 [升/分钟]?*2 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 |
极限压力 [Pa]?*2 | 3.0 | 5.0 | 0.5 | ||||
电源电压 (50/60Hz) | 3相AC200~220V?*3 | ||||||
功耗 [千瓦]?*4 | 0.7 | 1.0 | 0.9 | 0.95 | 1.4 | 1.5 | 1.6 |
尺寸 [毫米] 长×宽×高?*5 | 630×350×360 | 715×360×408 | 630×350×520 | 870×380×751 | 1000×450×950 | ||
质量 [公斤] | 70 | 130 | 110 | 130 | 280 | 410 | 410 |
*1) 请事先联系我们了解申请事宜。*2) 无 N2清除。*3) 联系我们了解其他电压选项。
*4) 极限压力下的近似值,+0.2kW,带热氮2清除。*5) 包装尺寸。
* 联系我们了解合规性。规格和产品名称如有更改,恕不另行通知。
* 联系我们了解大容量泵。