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| 品牌：荏源 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 型号：EST300WN | 电源电压：200V~380V |
| 用途：抽真空 |
EST型
可处理反应副产物，实现大流量废气排放的干式真空泵
满足高温温控要求
高排气速度
大流量排气
标配性材料
提高性的选配件
满足高负荷工艺要求
在不同频率（50/60Hz）下性能一致
无油
可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求
产品介绍
EST型采用螺旋型转子，搭载能够使泵内气体保持高温的高温化功能，是形成反应副产物的CVD等用途的选择。标配性材料，实现高排气速度和大流量排气，有助于减少停机时间，提高工艺效率。
规格
| 设备名称 | 单位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 排气速度 | L/min | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 极限压力 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ***160 | ***200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略時 | kW | 2.3 | 3.0 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 电源容量 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16.0 | |
| 质量概值 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
