| 品牌：荏源 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 型号：EV-S100P | 电源电压：200V |
| 用途：抽真空 |
产品介绍
通过转子设计与怠速功能，节能和小型化达到世界水平。有助于降低运行成本。此外，还可选择性材料，从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺，能够满足各种不同应用需求。
规格
| 设备名称 | 单位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
| 排气速度 | L/min | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 极限压力 | Pa | 3.0 | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
| 排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | - | 17～20 (2.4) | - | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | |||
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | ||
| 电源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
| 质量概值 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
