| 品牌：爱发科 | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 型号：CRYO-U4H | 电源电压：380V |
| 用途：抽真空 | 尺寸：130cm*503.5cm |
低温泵
CRYO-U 系列
CRYO-U4H
ULVAC CRYOGENICS
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有的产品阵容供您选择。
特点
发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | |
| 流量 | 氩 | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩 | Pa?L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
