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| 品牌：爱发科ULVAC | 是否进口：否 | 产地：日本 |
| 加工定制：否 | 型号：SC1SC1-N | 测量范围：10-2~10+5PaPa |
| 产品适用范围：真空管道 | 产品特性：精度高 |
日本爱发科冷阴极电离真空计SC1/SC1-N? 爱发科真空计? ULVAC爱发科真空泵 真空泵维修
冷阴极电离真空计
SC1
SC1(日本产)/SC1-N(中国产)
ULVAC
G-TRAN系列是为了使各种设备的工艺控制集中化以及小型化而开发的真空计，（1）降低设备成本，（2）节省空间，（3）节省布线。
由传感器单元和显示单元的基本单元构成，可根据用途组合。
特点
测量部件和测量电路一体化集成
模拟输出和设输出
独立的模拟日志输出和设输出（显示单元）
采用DIN标准尺寸48 x 96 mm（显示单元）
用途
用于半导体，光学和电子零件制造的真空设备的压力范围内的过程控制
低真空范围的过程控制，适用于熔解炉等工业设备
具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制，例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备
规格
| 传感器 单元 | 显示单元 | 特征 | ||
| 数字 | 数字4CH | |||
| 皮拉尼真空计 | SW1 SP1 | ISG1 | IM1R1 IM2R1 | ?10-2～10+5Pa ?低 |
| 热的 阴极 真空计 | SH2 | ?5x10-8～9.9x100Pa ?测量 ?多离子真空计适用 | ||
| 冷 阴极 真空计 | SC1 | ?5x10-5～1Pa ?低运行成本 | ||
| 电容 压力计 | CCMT-D | DC15V DC24V | ?陶瓷隔膜规格 ?可以测量低，中真空 | |
| 特征 | ?测定子一体型 ?类似物输出 ?设输出 | ?DC24V适用 ?设3点 ?查看方便LED | ?4CH同时表示 ?设8点 ?节省空间 | |
