| 品牌：爱发科 | 类型：气体捕集泵 | 型号：PRC-018A |
| 材质：铝合金 | 用途：管道泵 | 原理：罗茨泵 |
| 真空度：高真空度 | 驱动方式：电动 | 功率：5.5kWkw |
| 极限压力：6.7x10-1papa | 外形尺寸：406×989×340 | 泵轴位置：卧式 |
| 抽气速率：417l/sl/s | 抽气量：1500m3/h | 重量：115kgkg |
| 排出口径：VF100mmmm | 流量：1500m3/hm3/h | 规格：PRC-018A |
罗茨泵
PRC 系列
PRC-018A
ULVAC
PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
特点
无油
由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。
采用密封电机
通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封。 可以在没有漏油的清洁环境中使用。
表面处理，具有的性
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和的性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。
用途
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备
规格
Model | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| Maximum pumping speed | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| Maximum suction pressure | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| Maximum allowable differential pressure | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| Ultimate pressure *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| Allowable drive pressure | Pa | ～1.0 x 105（atmospheric pressure start type） | |||||
| Motor *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| Oil *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| Oil quantity | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| Cooling method | Water cooling | ||||||
| Cooling water | Primary side pressure | MPa | 0.3 | ||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | MPa | 0.01< | |||||
| Inlet/outlet differential pressure Volume | L/min | 2 | 3 | ||||
| Temprature *4 | ℃ | 5 ～ 30 | |||||
| Inlet port JIS-B-2290 | VG80 / ***80F(optional) | VG80(optional) | VG150(optional) | ||||
| Outlet port JIS-B-2290 | VF80(optional) | VF100(optional) | |||||
| Dimension（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| Weight total | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| Standard roughing pump *5 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| Optional | adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation | ||||||
note)
*1 Measured by Pirani vacuum gauge. It will be about 4.0 x 10-2Pa when measured by MacLeod vacuum gauge.
*2 AC200V (50Hz/60Hz), AC220V (60Hz), 3Phase. Other voltage is available upon request.
*3 Synthetic (R-7000) or fluorine oil (J25F) is selectable as option
*4 Please use it in the environment of no be dewy when the temperature of cooling water is low.
*5 Performance of these pumps could change depending on roughing pump. Above data is based on standard roughing pump.
