产品简介:
瑞士inficon BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计广泛测量从***真空到大气压的复合规管技术
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计 的详细介绍
INFICON BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计贝阿德-阿尔珀特皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为经济实惠且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据,可在更换传感器时确保高再现性。
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计益处
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和***真空范围内的一般真空测量和控制
BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计选型:
零件号
BPG402-S |
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零件号 | 说明 |
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353-570 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
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353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
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353-572 | BPG402-S 真空计 |
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353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
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353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
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353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
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353-576 | BPG402-SD 型真空计 |
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353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
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353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
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附件
BPG402-S |
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零件号 | 说明 |
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353-511 | BPG400 24V电源 |
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353-512 | Baffle for BPG400 |
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211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
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备件
BPG402-S |
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零件号 | 说明 |
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354-494 | BPG402 感应器 |
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354-495 | BPG402 Spare measurement system DN40CF-R |
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